国产半导体设备龙头公司

1 北方华创

北方华创科技集团股份有限公司是由七星电子和上海北方微 电子战略重组而成。产品包括刻蚀设备、PVD设备、CVD设 备、氧化/扩散设备、清洗设备、新型显示设备、气体质量流 量控制器等。

 在集成电路领域，公司自主研发的14nm等离子硅刻蚀机、 单片退火系统、LPCVD已成功进入集成电路主流代工厂； 28nm Hardmask PVD、Al-Pad PVD设备已率先进入国际供 应链体系；12英寸清洗机累计流片量已突破60万片大关；深 硅刻蚀设备也于去年一举告捷东南亚市场。 

 2019年，公司78%的营收来自于电子工艺装备，20%营收来 自于电子元件。公司自2015年重组以来营收持续提升。

2 中微公司

中微半导体成立于2004年。是一家以中国为基地、面向全球 的高端半导体微观加工设备公司，为全球集成电路和LED芯 片制造商提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务。中微 公司基于在半导体装备产业多年耕耘积累的专业技术，涉足 半导体芯片前端制造、先进封装、LED生产、MEMS制造以 及其他微观制程的高端设备领域，瞄准世界科技前沿，坚持 自主创新。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国 际一线客户从65纳米到5纳米工艺的众多刻蚀应用。

 自上市以来，中微公司的业绩稳步增长。2016年至2019年 营收分别为6.1亿元、9.7亿元、16.4亿元、19.5亿元。2016- 2018年公司营收增速维持在50%以上，2019年公司营收增 速接近20%。

3 华卓精科

公司主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及 关键部件等衍生产品的研发、生产以及销售和技术服务。公 司是国内领先的集成电路制造装备及其核心部件、精密/超精 密运动系统及相关技术供应商，致力于在实现超精密机械与 测控技术成果产业化的基础上成为中国乃至全球卓越的精密 科技公司。2020年4月，华卓精科的科技公司与清华大学取 得了合作，攻克了国产光刻机研制上的一个关键技术-双工 件台，这将为国产光刻机的发展提供极大帮助，并有希望在 未来攻破7nm技术。

 公司主营业务收入主要来源于光刻机双工件台、超精密测控 装备整机和超精密测控装备部件三项业务，合计占主营业务 收入的比例分别为99.70%、95.81%和99.56%。

4 芯源微

沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中 科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，专业 从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于为 客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。

 芯源微开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀 机、单片清洗机等产品广泛应用于半导体生产、高端封装、 MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等领域。可满足 300mm前道制程及300mm先进封装厚胶工艺制程。

 2016年公司主要营收来源于光刻工序涂胶显影设备。近三年， 单片湿法设备在公司营收中所占的比重持续上升，2019年光 刻工序涂胶显影设备贡献1.12亿元营收，单片湿法设备贡献 0.95亿元营收。

5 盛美半导体

 盛美半导体1998年成立于美国，2006年成立上海子公司， 开始植根内地。公司创始人、董事长兼任CEO王晖为大阪大 学半导体设备及工艺博士，国家千人专家。

 盛美半导体是全球单晶清洗设备的重要供应商，也是国内最 大的单片清洗设备供应商。公司主要从事半导体专用设备的 研发、生产和销售。

 盛美半导体主要产品为半导体清洗设备，包括单片SAPS兆 声波清洗设备、单片TEB0兆声波清洗设备、单片背面清洗 设备、单片刷洗设备、槽式清洗设备和单片槽式组合清洗设 备，2019年此项营收占比84%。此外也逐渐开展半导体电镀 设备和先进封装湿法设备业务，产品线较为丰富，此两项占 比有逐年升高的趋势。

 公司总营业收入和净利润连续三年上升，2019年度营业收入 超过7.5亿元，净利润超过1.3亿元。

6 至纯科技

至纯科技创立于2000年，其业务变革经历了五大时期，自早 期的工程分包，到2016年后的结构转型，公司将重心转移到 了半导体行业，并成为目标行业的领军企业

 公司的主营业务主要包括高纯工艺系统的设计、制造和安装 调试；半导体湿法清洗设备研发、生产和销售。此外，公司 于2018年完成对波汇科技的收购，增加了光传感光电子业务 板块

 公司营业收入连年增长，2019年公司营业收入为9.86亿元， 较去年同期增长46.34%，主要是收购波汇科技并表其光传 感及光器件收入，以及公司半导体设备业务板块收入所贡献。 净利润除2018年轻微下滑外，总体呈上升趋势

7 精测电子

公司成立于2006年，创业初期定位于液晶行业检测设备， 2008年战略调整为面板检测中的电信号检测领域，2013年 公司已经成为国内面板Module段电测龙头。之后公司又进 入AOI光学检测系统和面板自动化设备市场，承揽平板检 测中前段Array和Cell工序所需检测设备。

 2018年设立全资子公司上海精测半导体，正式进军半导体 前道检测设备市场。以椭圆偏振技术为核心开发了适用于 半导体工业级应用的膜厚量测以及光学关键尺寸量测系统， 电镜设备计划于 2020 年投入市场。

8 华峰测控

上海华峰测控技术股份有限公司（简称华峰测控），作为国内最早进 入半导体测试设备行业的企业之一，公司在行业内深耕二十余年， 聚 焦于模拟和混合信号测试设备领域。

 公司凭借产品的高性能、易操作和服务优势等特点，在模拟及数模混 合测试设备领域打破了国外厂商的垄断地位，在营收和品牌优势方面 均已达到了国内领先水平。产品不但在中国境内批量销售还外销至中 国台湾、美国、欧洲、韩国、日本等境外半导体产业发达地区，截至 目前，全球累计装机量突破2,600台。

9 万业企业

公司成立于1991年，主营业务为房地产住宅类项目。 2018年12月收购离子注入机设备公司凯世通，积极 深化战略转型，切入半导体高端装备赛道。凯世通主 营泛半导体中离子注入机及配套服务，是全球唯一一 家全领域离子注入设备公司，产品覆盖光伏、集成电 路、AMOLED、IGBT等，目前公司在光伏离子注入 机全球市占率第一。

 目前实际控制人及第三大股东分别为上海浦东科投有 限公司和国家大基金，其中浦东科投在集成电路、医 疗健康等高科技产业有着多年的成功投资经验，叠加 国家大基金的政策和基金支持，将有助于公司顺利转 型，未来有望成为国产离子注入设备龙头。

10 赛腾股份

赛腾股份成立于2007年的高新技术企业，深耕智能装 备制造行业多年，处于智能制造产业链下游，主要提 供自动化组装设备、自动化检测设备和治具类产品。 目前公司产品常应用于消费电子行业，主要客户有苹 果、JOT公司、广达集团、三星电子、纬创资通、英 华达集团等。公司于2011年通过苹果供应商认证，并 为其提供自动化设备、治具类产品及相关技术服务。

2019年募集资金收购日本Optima株式会社75%的股权， 将公司产品线向高端半导体设备领域进一步延伸。前 五大客户销售额占比从2014年96.3%降低至2019年的 54.9%，大大降低对重要客户的依赖程度，主要得益于 2018、2019 年公司积极收并购，客户基础和业绩随之 得到扩充。

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